氦質譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性,使其廣泛應用。氦質譜檢漏設備應在施工工作完成后進行本測試,測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。氦質譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器,它性能穩定,空調兩器檢漏,靈敏度高,是真空檢漏技術中較成熟的設備,使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業人員的安全以及環境保護,氦質譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。
真空檢漏的具體方法為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產中為常見問題是極限壓力合格,而升壓率不合格,或者是兩者都不合格,比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。(1)極限壓力合格,升壓率不合格極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點,且真空系統的抽氣性能正常。升壓率不合格,主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。
漏孔距離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同,所以噴氦氣應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠進行。對檢漏方法的要求:能定位、定量,即不經能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質量要求;能無損檢漏,不使被檢設備受到損傷和污染;檢漏的方式是:鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀,用真空泵組把管道抽真空,達到一定真空度。
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