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沈陽東創貴金屬材料有限公司
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熱壓法：ITO靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內充填入適當粉末以后，以 100kgf/cm 2～1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓，同時以1000℃～1600℃進行燒結。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小，燒結溫度較低，燒結時間較短。但熱壓法生產的ITO靶材由于缺氧率高，氧含量分布不均勻，從而影響了生產ITO薄膜的均勻性，且不能生產大尺寸的靶。
人類社會的存在，科學技術的進步和發展，已成為21世紀首要的戰略儲備物資，金圓柱靶廠，且與各國的政治經濟和社會發展有著息息相關的緊密聯系，在已知的傳統產業和應用領域中，高純材料、合金、各種深加工的制品（半成品）及化學制品，哪里有金圓柱靶，已被廣泛應用到冶金鋼鐵，石油化工，有機化工，化工，電子電器，汽車制造，哪家有金圓柱靶，光學玻璃，玻璃纖維。
但是靶材制作困難，這是因為氧化銦不容易燒結在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結添加劑，宿州金圓柱靶，能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材，這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關系極大。日本的科學家采用Bizo作為添加劑，Bi2O3在820Cr熔化，在l500℃的燒結溫度超出部分已經揮發，這樣能夠在液相燒結條件下得到比較純的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是納米顆粒，這樣可以簡化前期的工序。
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