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主營：氦檢漏系統,非標定制氦檢漏回收系統
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氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區域與外部環境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，pfeiffer氦質譜檢漏儀，因此廣泛應用于半導體工業中硅片芯片封裝環境的監測以防止晶圓損傷；也應用于大規模集成電路生產線上檢查每個密封件是否有缺陷。
檢漏系統是一種用于檢測泄漏的安全系統。它通過檢測環境中的泄漏來防止意外事故的發生。它通常使用傳感器來檢測泄漏，例如氣體、液體或蒸汽。檢漏系統包括一個檢測器、一個報警器和一個控制器。檢測器會檢測到泄漏，并將泄漏的信息發送給報警器。報警器會發出警報，通知相關人員采取措施。，控制器會控制機械設備來關閉泄漏源。
氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的氣體檢測儀器，它利用了帶電粒子在磁場中偏轉的原理來識別不同原子量的氣體。其工作過程如下：首先將待測容器充入惰性氣體（主要是氮氣），然后將管路接通真空泵進行抽空處理；接著打開進樣閥使被探測的氣體進入靜電引弧極間形成輝光放電而被離子化、激發而產生正負電子流；之后由穩壓電源供給高壓于陰板和陽板上分別收集這些自由電子并維持兩板的導電回路閉合電路；通過測量出電流強度即可確定泄漏率的大小或樣品中的質量分數含量。
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