熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內充填入適當粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時以1000℃~1600℃進行燒結。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,燒結溫度較低,燒結時間較短。但熱壓法生產的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產ITO薄膜的均勻性,且不能生產大尺寸的靶。
超純金屬的制備有化學提純法如精餾(特別是金屬氯化物的精餾及氫還原)、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區熔提純等(見硅、鍺、鋁、銦)。其中以區熔提純或區熔提純與其他方法相 結合有效。
由于容器與藥劑中雜質的污染,使得到的金屬純度受到一定的限制,只有用化學方法將金屬提純到一定純度之后,再用物理方法如區熔提純,才能將金屬純度提到一個新的高度??梢杂冒雽w材料鍺及超純金屬鋁為例說明典型的超純金屬制備及檢測的原理(見區域熔煉)。
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